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    UPC-2000L CO2发泡机

    CO2发泡机适用于半导体晶圆切割工序,它是通过渗入CO2,使水的电阻率降价(达到0.2M&Omega;.cm).从而消除水中的静电,达到保护wafer的作用。

     

    产品优势:

     

    1、精准的电阻率控制能力,可将电阻率控制在&plusmn;0.1M&Omega;.cm.

    2、增加了电阻率自动调节系统.

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